微米测量新标杆｜富唯FSD-LK系列高精度激光位移传感器，590KHz 极速采样

2026-11-14

高速运动、微小振动、瞬时位移……面对越来越快的生产节拍，如何不错过每一次细微变化？

富唯电子FSD-LK系列高精度激光位移传感器，最高采样频率达590KHz，且最高0.02μm重复精度，为精密测量提供更完整的数据支撑。

一.检测背景

在振动、位移、厚度及高速运动物体检测中，被测对象可能在极短时间内发生变化。

如果采样速度跟不上，就可能错过峰值、振幅及瞬时位移等关键数据，尤其在精密制造、高速自动化检测场景中，对传感器的采样速度、测量精度和数据记录能力提出了更高要求。

二.检测方案

针对高速运动、振动及微小位移等动态检测需求，FSD-LK系列最高支持590KHz超高采样频率，可在极短时间内连续获取大量测量数据，更及时地捕捉被测物的瞬时位移、峰值变化及细微振动过程。

与此同时，最高0.02μm重复精度可有效降低同一位置多次测量结果之间的波动，使检测结果保持更高的稳定性与一致性。通过高速采样与高重复精度的结合，可更好满足精密制造、高速自动化及微小位移检测场景对响应速度、测量稳定性和数据可靠性的综合要求。

三.检测优势

极速捕捉：590KHz超高采样
高速捕捉瞬时变化，适用于振动、高速位移等动态测量。

微米级精测：最高0.02μm重复精度
高速采样同时兼顾高精度，满足精密制造中的微小位移检测需求。

海量存储：120万条数据存储
大量检测数据可记录、可分析、可追溯，让测量结果更有价值。

多种通讯方式：控制器可连接至上机位
丰富的通讯方式,提供网口TCPIP、串口RS232通讯、模拟量和开关量输出

光学系统：小光点型/宽光点型

小光点适合捕捉物体细微的高度变化,准确测量物体表面的轮廓。
宽光点适合表面粗糙不规则的物体,可以平滑因粗糙表面的不规则性而产生的数据波动,确保测量数据的稳定性。

从“捕捉高速变化”到“微米级精测”，FSD-LK系列高精度激光位移传感器让高速精密测量更高效。

590KHz高速采样 + 最高0.02μm重复精度，为高速、高精度检测提供更强的数据能力。

四.规格表

参数项		FSD-LK系列
型号	小光点	FSD-LK3030	FSD-LK5020	FSD-LK5050	FSD-LK5080	FSD-LK5150
	宽光点	FSD-LK3035	FSD-LK5025	FSD-LK5055	FSD-LK5085	FSD-LK5155
参考距离		30mm	20mm	50mm	80mm	150mm
测量范围		-5至5mm	-3至3mm	-9至8mm	-19至16mm	-47至35mm
安装距离		25-35mm	17-23mm	42-59mm	64-99mm	115-197mm
光点直径	小光点	Φ60μm	Φ45μm	Φ75μm	Φ110μm	Φ190μm
	宽光点	60*400μm	45*400μm	75*400μm	110*720μm	190*1300μm
重复精度		0.05μm	0.02μm	0.025μm	0.1μm	0.25μm
线性精度		±0.05% F.S. （±5μm）	±0.02% F.S. (±1.2μm)	±0.02% F.S. (±3.4μm)	±0.02% F.S. (±7μm)	±0.02% F.S. (±16.4μm)
采样频率（Hz）		1/2/5/10/20/50/88kHz(可选 7 种级别)	1/2/5/10/20/50/88/200/400/590kHz(可选10种级别)
光源类型		光源波长：655nm；激光等级：2类；激光输出功率：5mW
温度特性		±0.01%的 F.S./℃
输入输出	通信端口	1 个 100Base-TX/1000Base-T 以太网接口，1 个 RS232
	模拟量输出	1 路模拟量输出，支持模拟电压和模拟电流切换
	编码器输入	1 组差分编码器
	IO 输入	14路，支持计时、归零、重置、激光控制、配方切换等功能
	IO 输出	16路，判定状态输出
储存温度		-20～70℃
工作温度		0～50℃
工作湿度		35%~85%无凝露
EFT防护		电源端口2kV/5或100kHz、信号端口1kV/5或100kHz，符合IEC 61000-4-4标准
ESD防护		接触放电4kV、空气放电8kV，符合IEC 61000-4-2标准
振动		10Gs (10-500Hz) ，符合 IEC 68-2-6 Fc 标准
冲击		每轴50Gs/3ms，符合IEC 68-2-27 Ea标准
IP 等级		IP67，符合IEC 60529标准
配线型号		SCB-GICAM-HA2-3m/5m/10m
尺寸（mm）		907538	60x61x41	69x71x47	75x70x47	85x76x47
重量（包括线缆）		324g	324g	323g	329g	370g