光谱共焦位移传感器
光谱共焦位移传感器

分辨率:最高可达0.006μm

线性精度:最高0.2μm

采样频率:最高33kHz

光谱共焦位移传感器
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· 核心优势:白光经色散透镜分解为不同波长的单色光,利用波长与焦距的精准对应关系,实现非接触式位移测量——即使是玻璃、薄膜、亚克力、水膜等透明或多层透明材质,也能精准穿透各层界面,无盲区捕捉真实测量数据,彻底摆脱了传统光学测量对材质透光率、反射率的依赖。

· 不挑材质:对玻璃、薄膜、亚克力、水膜等透明/多层透明物体无盲区测量,金属、塑料等物体也可稳定高精度测量,不受透光率、反射率影响;一款可测所有材质的高端测量传感器

· 测量距离9.5至80mm多量程可选,满足多数常规距离测量需求

· 输出方式:支持网口TCP/IPRS2324-20mA电流、0-10V电压等多种输出,适配不同系统接口;

· 极限性能:分辨率0.006μm,绝对精度最高0.2μm33KHz采样频率,实现纳米级动态监测;

· 智能协同:支持12光谱头,对射测厚的不二选择,内置数据存储可存储120万个数据,并且具有编码器触发功能,与运动平台无缝联动;

· 光谱应用:

    厚度检测:用于透明/半透明材料(如玻璃、薄膜、光学涂层)的厚度测量,可同时测量上下表面。


    微观形貌分析:在半导体、微电子行业中检测晶圆、芯片表面的平整度、台阶高度。


    三维轮廓扫描:配合扫描运动,实现对复杂曲面(如精密齿轮、模具、生物样本)的高分辨率三维重建。


    表面缺陷检测:检测材料表面的划痕、凹坑、颗粒污染等,适用于光学元件、金属抛光件、显示屏等高质量表面的在线质检。


    透明与多层材料测量:利用其区分不同反射面的能力,可测量夹层玻璃、多层涂镀材料的各层厚度或间隙。


    动态位移监测:实时监测振动、形变或位移变化,例如机械臂末端定位、精密轴承运动分析、热膨胀测量等。


    生物医学与科研:活体组织形变测量、细胞形态观察、材料热膨胀系数检测等需高精度非接触的实验室场景



光谱共焦位移传感器

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