光谱共焦位移传感器
光谱共焦位移传感器
  1. 分辨率:最高可达0.006μm

  2. 线性精度:最高0.2μm

  3. 采样频率:最高33kHz

光谱共焦位移传感器
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几乎不受任何材质、形状和反光影响多种材质亦可完成高精度测量

对各种材质及光照条件适应性强

采样频率高达33kHz,可稳定检测快速移动的物体以及高频率震动的幅度


光谱共焦位移传感器

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